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장비규모/배치도

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규모

규모 관련 사항
총 공사 투입비
81.6억원
  • 설계비 : 2.4억원 (삼성 엔지니어링 + 배가 건축사무소)
  • 공사비 : 75.6억원 (대우건설 + 정일 E&C)
  • 감리비 : 3.6억원 (엘지 E&C)
공사기간 1995. 12. 29 ~ 1997. 07. 31 (19개월)
건물구조 지하 1층 지상4층, 철근콘크리트
면적개요
건축면적 : 574평
연면적 : 2,013 평(Clean Room 150평, 실험실 533평, 기타 1,330평)
청정도 : Class 10 17평
Class 100 33평
Class 1000 100평
주요시설 개요
  • 수직층류 Fan Filter Unit (348대), 필요에 따라 Up-Grade 가능
  • Clean Dry Air (324 N m3/HRx 2대, P.D.P - 70도)
  • NitroGen Gas (168 N m3/HR, 액체 질소탱크 14.1 ton)
  • Process Cooling Water (Recirculation 24 m3/HR)
  • Exhaust Gas Treatment (세정탑 8,000MH 1대, 흡착탑 8,000 CMH 1Set)
  • Power Supply 2,750 KVA (380/220V, 208/120V)
  • Air Compressor(380 N m3/HR, 2대)
  • Air Shower (1인용 4대, 2인용 2대)
  • 중앙 Control System (각종장비 상태감시 및 제어기능)
  • Boiler (1.5ton/HR 3대), Chiller (2000USRT 3대)
  • 33대분의 주차시설

장비규모/배치도